真空度分為低真空、中真空、高真空。低真空容器內的殘余氣體類似于空氣的氣體組分，中真空狀態時，原始空氣比例減少，而以各種材料放出的氣體為主。中、高真空加熱的實質是一種可控氣氛保護加熱。
真空爐殘余氣體在加熱過程中有很大的變化。如果吧真空度與相對雜質量看做等價，并把相對雜質量全部認為是水蒸氣，則得出真空度與露點之間的關系，那么可以推導出兩者之間的數量關系。
在一定體積內，壓力與分子數目成正比。一個標準大氣壓下，1.033×105Pa∶n=Y∶X，其中n為標準大氣壓下的分子數目，X為Y壓力下的分子數，把這些氣體都當做雜質對待。假設Y壓力下的相對雜質為Z，則：
Z=×100%
通常保護氣氛爐種，露點在-30~-60℃之間，這相當于真空度60~1Pa。保護氣氛爐達到這個露點已經是比較高的要求了，而對真空爐則是比較容易得事情。利用這個關系可以確定加熱的真空度。
