在分析真空熱處理工件增碳現象時有兩種誤解：①認為是工件在淬火油中增碳；②認為是加熱室的石墨件造成增碳。由于實際工藝情況和材料的區別，很多情況下的“增碳”不是指這兩個原因，而是加熱室的清潔度不高，有大量淬火油在工件進出爐、料筐污染、送料小車進出帶入熱室，殘留在熱室冷壁上，加熱時形成揮發性還原氣氛，對工件增碳。
除了在1050℃高溫以上的溫度直接入油外，1050℃以下的加熱工件油淬火時，稍做預冷再入油不會形成“明顯”的增碳現象。
在加熱室的石墨件等對工件的增碳情況也不能排除，但是完全沒有殘留淬火的氣氛嚴重。
真空加熱淬火的增碳現象更為嚴重的是來自淬火油污染爐膛的原因，不是人們所說的油中淬火或石墨件的原因。
在進行過油淬火處理之后，應將全部浸過油的料筐、運載部件（進出料小車）上的油全部清洗干凈（用三氯乙烯、丙酮或其他清洗方式處理）。
