模具鋼經真空熱處理后有主表面狀態且變形小。與大氣下的淬火比較，真空油淬后模具表面硬化比較均勻，而且略高一些，主要原因是真空加熱時，模具鋼表面呈活性狀態，不脫碳，不產生阻礙冷卻的氧化膜。在真空下加熱，鋼的表面有脫氣效果，因而具有較高的力學性能，爐內真空度越高，抗彎強度越高。真空淬火后，鋼的斷裂韌性有所提高，模具壽命比常規工藝普遍提高40%～400%，甚至更高。冷作模具真空淬火技術已得到較廣泛的使用。
由于模具對表面質量和畸變的高要求，真空高壓氣淬已幾乎成為模具熱處理不可替代的技術。目前在華南和華東沿海，稍具規模的民營熱處理加工企業都擁有至少一臺0.4MPa（最多的有6臺）的真空加熱高壓氣淬爐。在切削刀具行業，數控和加工中心的廣泛應用，強烈要求刀具具有高的質量和長的壽命，同時城市的環保也對熱處理提出更嚴格要求，真空加熱高壓氣淬也因此成為高速鋼刀具熱處理替代鹽浴加熱淬火的首先工藝。
