滲碳件的質量檢查項目包括爐前試樣檢查或完工檢查。
完工檢查包括外觀、變形、硬度、滲碳層深度和金相組織。前三個項目外觀、變形、硬度的檢查按常規方法進行，滲碳層深度和金相組織按照行業標準和國家標準進行。
滲碳及熱處理后的金相組織檢查項目及合格組織級別，隨工件類型和規格的不同而有所不同。檢查項目一般包括：①滲層檢查，包括表面含碳量、馬氏體粗細程度、殘余奧氏體數量、碳化物網的大小和封閉程度、粗大碳化物深度、裂紋；②心部檢查，包括鐵素體數量和分布。
齒輪氣體滲碳的質量檢查按照《JB/T 7516—1994 齒輪氣體滲碳熱處理工藝及其質量控制》進行。
