氧探頭或稱氧傳感器、氧電池。它是利用氧化鋯在高溫時（＞650℃時）內外兩側不同的氧濃度所產生的氧電勢來測量被測部位的氧含量。是熱處理控制氣氛常用的傳感器。氧探頭的使用應該注意以下幾點。
①氧探頭在爐中工作時，潔凈的參比空氣應該持續通入。通入量在1~2L/min。
②探頭的核心部件時陶瓷管，使用時應盡量避免急冷、急熱，防止激烈的振動及機械碰撞。如果必須要將氧探頭從熱爐膛中抽出，那么抽出或者插入的速度都不要超過600mm/min的速度。
③積炭是造成氧探頭失效的重要原因。在爐罐（馬弗爐）或爐磚（無馬弗爐）滲碳初期，常常是積炭已經很嚴重了而氧探頭輸出電勢并不高，此時一定要控制富化介質（煤油、丙酮、丙/丁烷等）通入量，不可過多。否則會使氧探頭上產生嚴重結炭，從而造成氧探頭永久性損壞。控制富化介質（煤油、丙酮、丙/丁烷等）通入量，不要設定過高的碳勢，防止氧探頭積炭。
④無馬弗爐在新的或舊爐大修后爐子預滲碳時先不裝氧探頭，待爐子預滲結束后再裝上氧探頭。
⑤燒碳裝置對氧探頭定期燒碳操作，當氧探頭在爐子上工作時，推薦的空氣流量為5~9L/min，燒炭持續2min，燒碳間隔在2~4h。探頭的燒碳對探頭本身是無害的。
⑥氧探頭在700℃以下是不起作用的。
