氣體滲碳、碳氮共滲工藝過程通常可劃分為排氣升溫、滲碳（包括強滲與擴散）、降溫冷卻三個階段。各個階段的目的要求不同，應分別加以控制。
排氣升溫階段在零件裝爐后進行，裝爐后爐溫大幅度下降，同時有大量空氣進入爐內。因此，排氣升溫的作用是妖式爐溫迅速恢復到規定的滲碳、碳氮共滲溫度，同時，要盡快排除進入爐內的空氣，防止零件產生氧化。
加大甲醇或富化氣的供給量可增加排氣速度，使爐內較快地形成還原性氣氛或滲碳性氣氛。在爐溫低于600~650℃時盡量不要向爐內供應保護氣體，防止燃氣爆炸。供氣量的多少應根據爐子的容積來確定。
排氣階段的時間，小型工件通常是爐子達到滲碳溫度后再延續30~60min，以便完全清除爐內的CO2 、H2O、O2等氧化脫碳性氣體，對于大中型工件僅僅考慮排除爐內的氧化性氣氛還不夠，更要注意工件的到溫時間和均溫時間，這個時間往往被忽略，應該引起重視。這個時間可以按照下列公式計算：
T=K×W
式中 T——工件的到溫時間，min；
K——綜合因素，min/mm；圓柱體時K=3.5，板類件時K=4；
W——幾何指數，圓柱體時W=（0.167~0.25）×D（長徑比大時取上限值），板類件時W=（0.167~0.5）×D（厚度長于寬之比大時取上限值）；D為工件有效尺寸，mm。
