預抽真空回火爐時一種保護氣氛熱處理爐。對爐內的氧化氣氛排除的方法有充氣法和換氣法。充氣法是對爐膛連續充、放氣，趕出爐內的氧化雜質氣體，使爐內的氣氛純度到達要求。換氣法式利用機械泵將爐內的氧化氣體抽出，在充入保護氣體，然后再抽出不純氣體，充入保護氣，這樣反復進行幾次知道爐內氣體純度合格。高合金鋼真空回火的真空度選用133Mpa，對應爐內的殘氧量為0.132%。
換氣次數計算公式：
Q/Vo=-1n
式中 Vo——爐膛體積；
Q——雜質含量為Kc的充氣氣量；
Kt——充氣后t時刻爐內氣氛雜質含量；
Ko——充氣前爐內原有雜質氣體含量；
Kc——沖洗氣體的雜質含量。
①爐膛原有氣體為空氣時，Ko=21%，最終要求達到Kt=1%含氧量時，用99.995%高純氮氣換氣，Kc=1—0.99995=0.005%，至少換氣3次。
②要求爐內最終要求達到Kt=10×10-6含氧量時，用Kc=1×10-6含氧量得放熱氣體的保護氣換氣，至少換氣10次。
